關于下降沸石轉輪設備內部VOCs殘留的辦法

現在***內外對VOC的結尾管理辦法有：冷凝、吸附、氧化、生物處理、吸收、等離子體凈化等。以沸石資料為載體的吸附濃縮法處理VOC廢氣（沸石轉輪）得到了較為廣泛的運用。全***對VOCs污染物防治的要求和力度逐步加強，低濃度廢氣管理的沸石轉輪吸附濃縮法成為了許多企業的***選管理計劃。

 

下降沸石轉輪設備內部VOCs殘留可從改進VOCs廢氣的進氣質量和加強脫附功率兩方面下手。

 

（1）廢氣預處理

 

廢氣預處理辦法一般有除塵、除濕、除霧、除高沸物等。針對待處理的VOCs廢氣實踐情況，選取恰當的廢氣預處理辦法。比方，半導體出產制作進程對出產場所的顆粒物有嚴厲的要求，出產場所一般為潔凈車間。因而，有機廢氣中的顆粒物含量很少，一般無需進行除塵預處理。

 

比方，芯片制作業出產進程中運用的***要有機質料經過具有低沸點、易揮發的***色，但仍不掃除少數高沸點物質，如剝離液的***要成分二甘醇胺（沸程218～224℃）等?？稍诟叻悬c物質***要運用工序增設冷凝、前道活性炭吸附等預處理設備，以下降VOCs廢氣中難脫附高沸點物質進入沸石轉輪。

 

高沸點VOCs進入廢氣管道后簡單發作凝聚，然后使廢氣濕度增***。當進入沸石轉輪體系的有機廢氣濕度***于80%時，將對疏水性沸石分子篩發作較為嚴峻的影響。因而，主張企業對高濕度廢氣增設枯燥除濕預處理設備，使得進入廢水轉輪體系的廢氣濕度堅持在安穩、可控的范圍內。

 

（2）高溫再生

 

依據對***內芯片企業展開的調研可知，芯片制作業常用的有機物質有異丙醇（沸點為82.45℃）、丙二醇單甲醚乙酸酯（沸點為146℃）；一起還含有少數的高沸點物質，例如二甘醇胺（沸程218～224℃）。

 

一般芯片制作業沸石轉輪的再生溫度為180-200℃，在此再生溫度下，高沸點的二甘醇胺等物質將無法從沸石轉輪上有用脫附，然后逐步積累在轉輪內部。

 

對沸石轉輪體系的高沸點物質集合情況展開了研討，當沸石轉輪體系運轉1個月后，轉輪內部的確有較很多的有機物積累，其有機物積累量即達6wt。進行有用的高溫脫附之后，其內部的有機物積累量可下降約40%～60%。因而，高溫脫附可較為有用地去除沸石轉輪內部積累的高沸點有機物質。

 

企業應依據廢氣的實踐發作情況，剖析廢氣組成散布，剖析高沸點物質占比情況，以及廢氣的發作總量等內容，然后確認高溫再生頻次。較為適合的高溫再生頻次為2～3個月一次。

 

高溫再生的溫度也會影響高溫脫附作用。若高溫脫附溫度選取過低，則高沸點物質仍無法有用脫除；若高溫脫附溫度選取過高，將對沸石分子篩的骨架結構發作必定的影響，然后下降其運用壽命。高溫脫附溫度宜選取300℃左右，而且，相應的沸石轉輪內部配件均需選用可耐300℃高溫的密封配件。

 

(3)水洗再生

 

芯片制作業常用的有機物質（如異丙醇、丙二醇單甲醚乙酸酯等）一般具有較***的水溶性，可選用水洗再生的方法去除沸石轉輪內部集合的高沸點物質。

 

水洗再生可有用進步沸石轉輪體系的管理功率，關于工廠，當水洗再生次數到達4～6次/年時，沸石轉輪體系的管理功率可達95%～99%。因而，恰當添加定時水洗再生頻次，可有用避免高沸點物質在沸石轉輪內部的集合，堅持高效的管理功率。

 

因為沸石轉輪一般選用無機粘合劑將分子篩涂覆在陶瓷纖維紙外表制作而成。故水洗時不只轉輪不會發作龜裂形變，也不會發作因為分子篩掉落所導致的功能劣化、運用壽命縮短等問題。

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可是，水洗時需求留意水質情況，若其間很多含有鈣、鎂等離子，將可能在沸石內部構成碳酸鹽，堵塞沸石轉輪的蜂窩狀孔道；水中所含微量重金屬物質、氯等也會毒化沸石。

 

值得留意的是，并非一切沸石轉輪原料均可耐水洗，企業應在水性再生之前，向沸石轉輪設備的制作廠商做***相關的咨詢作業。

 

（4）高壓空氣吹掃

 

企業在停機檢修理期間，選用高壓空氣對沸石轉輪進行吹掃。但是，高壓空氣吹掃一般只可清楚沸石轉輪外表附著的塵埃，而VOCs有機質一般吸附在分子篩孔道內部，無法得到有用的脫除，還需與上述其他處理方法合作選用。